《中国电子信息工程科技发展研究》中国信息与电子工程科技发展战略研究中心编科学出版社豆瓣PDF电子书网盘迅雷下载在线免费阅读科学技术-自然科学-物理-Fahrenheit英汉词典

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书名	中国电子信息工程科技发展研究
分类	科学技术-自然科学-物理
作者	中国信息与电子工程科技发展战略研究中心编
出版社	科学出版社
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简介	目录《中国电子信息工程科技发展研究》编写说明前言章概述第2章集成电路芯片制造工艺流程第3章关键单项工艺介绍 3.1 光刻工艺 3.2 刻蚀工艺 3.3 薄膜制备工艺 3.4 外延工艺 3.5 扩散和离子注入工艺 3.6 氧化工艺第4章工艺集成技术第5章先进芯片制造工艺技术的主要挑战第6章总结与致谢参考文献内容推荐本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造
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