本书介绍了MEMS (微机电系统) 向NEMS (纳机电系统) 的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺, 为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。