本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。

本书适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。

本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

1 制造工艺

2 材料表征

3 单片集成惯性传感器

4 CMOS MEMS声学器件

5 CMOS RF MEMS

6 CMOS压力传感器

7 CMOS化学传感器

8 生物测定CMOS电容式指纹传感器系统

9 CMOS生化敏感系统

10 CMOS热传感器

11 电路和系统集成