《硅集成电路工艺基础(第二版)》关旭东著北京大学出版社豆瓣PDF电子书网盘迅雷下载在线免费阅读教育考试-大中专教材-大学教材-Fahrenheit英汉词典

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书名	硅集成电路工艺基础(第二版)
分类	教育考试-大中专教材-大学教材
作者	关旭东著
出版社	北京大学出版社
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简介	编辑推荐该书非常值得推荐内容推荐本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。目录第一章硅晶体和非晶体第二章氧化第三章扩散第四章离子注入第五章物理气相淀积第六章化学气相淀积第七章外延第八章光刻工艺第九章金属化与多层互联第十章工艺集成第十一章薄膜晶体管制造工艺
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