| 书名 | 套装-半导体干法刻蚀技术+半导体干法刻蚀技术 原子层工艺(全2册) |
| 分类 | 科学技术-工业科技-电子通讯 |
| 作者 | (美)索斯藤·莱尔 等 |
| 出版社 | 机械工业出版社 |
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| 简介 | 内容推荐 《套装-半导体干法刻蚀技术+半导体干法刻蚀技术 原子层工艺(全2册)》由(美)索斯藤·莱尔等著 目录 《半导体干法刻蚀技术:原子层工艺》 《半导体干法刻蚀技术(原书第2版)》 |
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